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266nm
266nm薄膜

发布时间:2024-06-26

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产品简介:薄膜特性:R<0.1%@248nm;损伤阈值:>1.2J/cm2@248nm, 1ns应用场景:光刻机、KrF激光器等

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详细信息

薄膜特性:R<0.1%@248nm;

损伤阈值:>1.2J/cm2@248nm, 1ns

应用场景:光刻机、KrF激光器等

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薄膜特性:T>97%@193nm;R>95%@193nm (石英); T>99%@193nm;R>95%@193nm ( CaF2 )。薄膜工艺:有偏重光学特性和偏种抗激光损伤两种工艺应用场景:光刻机、ArF激光器等。
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